本书采用一种独特的、具有微米纳米复合结构的硅纳米孔柱阵列为基底，采用化学气相沉积技术制备出具有微纳复合结构的巢状阵列结构薄膜，然后分别从碳纳米管/硅巢状阵列的生长工艺、浮动催化裂解法制备碳纳米管的生长机理、场发射性能优化，电阻型、电容型湿度传感器性能的改善，表面增强拉曼散射性能几方面进行了较为深入的研究。本书对这种纳米薄膜材料的研究比较系统、性能比较全面、所得结论比较深刻，研究方法及机理分析均对在校研究生起到积极引导和借鉴作用。